質(zhì)量流量控制器要對管路系統(tǒng)進行干燥處理

2021-09-06 08:56:06
本文關(guān)鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于MOCVD使用的金屬氧化物氣體和三氯化硼、三溴化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體建議好采用金屬密封的MFC。

　　質(zhì)量流量控制器注意以下：

　　1：怕液體和油污進入MFC，會造成失控，如果質(zhì)量流量控制器的出口接有液體罐，為避免液體回流需要在質(zhì)量流量控制器出口加上單向閥；

　　2：怕使用潮濕的腐蝕性氣體，潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹，造成質(zhì)量流量控制器通道損壞，因此要求在使用腐蝕性氣體前，要對管路系統(tǒng)和氣體進行干燥處理。

　　3：怕粉塵，若粉塵進入質(zhì)量流量控制器會堵塞傳感器和分流器，造成測量誤差，要求在進氣口前加裝過濾器。

　　質(zhì)量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理，測量氣體的質(zhì)量流量。是由分流器通道、流量傳感器、放大控制器和流量調(diào)節(jié)閥門等部分組成。

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